公司的核心技術為高質量SiC外延量產技術,重在外延各個環節的工藝把控,最終表現為高質量和高良率帶來的客戶依賴及利潤回報;創新點在于與器件制造工藝匹配的先進外延技術開發,外延缺陷分析檢測以及延伸的外延設備核心工藝改進。
公司目前已掌握先進的碳化硅外延生長工藝,擁有量產各類規格外延片能力,外延片性能已達國內領先水平,且在高質量SiC外延片量產的關鍵工藝技術研發上取得突破,已通過下游器件廠商的多輪流片驗證,各項性能指標均獲得了下游器件廠商的高度認可。
目前公司產出專利合計13項,在未來潛在領域亦有布設。